仪器型号：

YF-GX3020E

视野范围：

60mm*50mm

测试平台行程(mm)：

X300mm *Y200mm

调焦行程(mm)：

(Z轴)150mm(可跟据客户要求定制）

示值误差：

X.Y≤(2+L/200)um, (L为被测长度单位:mm) Z(4+L/150)um

测量精度：

一键式测量（固定）：±3μm 移动拼接测量时：±5μm

重复精度：

±2μm（标准件）

最小显示单位 ：

0.1μm

照明系统 ：

LED冷光源（绿色平行光），256级亮度可调

光学镜头：

美国大视野 双远心镜头

图像传感器：

 千兆网相机2000万像素

外形尺寸(mm)(长×宽×高)：

800*400*900

仪器重量（kg）：

225kg

玻璃台承重 ：

30kg

仪器电源 ：

220V（AC） 50HZ